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PHILLIPTECH-薄膜涂層領域的全場景膜厚監(jiān)測與石英晶體解決方案專家

閱讀次數(shù):23    發(fā)布時間: 2025-07-17 13:03:20

01品牌簡介

Phillip Technologies是美國Colnatec膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的獨家經銷商,專注于為薄膜涂層領域提供優(yōu)質產品與服務。公司以“以具有競爭力的價格提供石英晶振和膜厚監(jiān)測系統(tǒng),并提供快速簡便的購買體驗”為使命,銷售涵蓋替換石英監(jiān)控晶體、Colnatec薄膜監(jiān)控器和控制器等產品,所有石英晶體監(jiān)控器(QCM)均在美國南卡羅來納州十萬級潔凈室設施中制造,是客戶獲取薄膜涂層必需品的首選來源。

02核心產品

1.石英監(jiān)控晶體(QCM):包括5 MHz和6 MHz兩種頻率,覆蓋Inficon、Balzers、Ulvac等類型的替換晶體,具體分為低溫/低應力(如6 MHz金晶體)和高溫/高應力(如合金RC晶體)選項,最高溫度額定值達500℃。

2.Colnatec薄膜監(jiān)控器和控制器:作為美國獨家經銷商,提供Colnatec品牌的薄膜監(jiān)控與控制設備。

3.Tempe膜厚傳感器系統(tǒng):Colnatec旗艦系統(tǒng),可在40-500℃溫度范圍內運行。

03產品介紹

1.“Balzers-Style” 5 MHz RC 石英晶體 – 14 毫米,單錨,高溫額定

產品介紹:這些5.000 MHz RC(輻射補償)AT切 quartz晶體針對需要在熱和工藝應力下具有卓越穩(wěn)定性的高性能沉積系統(tǒng)進行了優(yōu)化。由Phillip Technologies制造,具有單錨電極圖案,并且完全兼容Balzers、Evatec以及使用這種配置的其他傳統(tǒng)傳感器頭。

能夠在溫度范圍高達300°C的環(huán)境中運行,RC 晶體消除了標準石英在熱輻射、等離子體暴露或強濺射條件下常見的虛假速率峰值和測量不穩(wěn)定現(xiàn)象。

2.“Inficon-Style” 6 MHz AT-Cut 石英晶體 – 14 Mm

產品介紹:由Phillip Technologies設計和制造的這些6.000 MHz AT-cut石英晶體在薄膜沉積系統(tǒng)中提供高頻率穩(wěn)定性和精確性能。采用雙錨電極布局,它們與Inficon、Maxtek、Sigma Instruments、Sycon及其他使用這種行業(yè)標準配置的控制器完全兼容。

具有14毫米直徑,且頻率響應干凈可靠,這些晶體非常適合用于真空鍍膜、光學監(jiān)測以及在半導體、光子學和先進材料應用中的通用薄膜生長。

3.Phoenix™ 高溫膜厚傳感器,帶集成熱電偶

產品介紹:Phoenix™ 高溫膜厚傳感器專為在傳統(tǒng)傳感器失效的極端溫度環(huán)境中表現(xiàn)出色而設計。Phoenix 專為高通量過程(如 ALD、CVD 和 OVPD)設計,可在單一集成系統(tǒng)中提供穩(wěn)定、精確和耐用的性能。

溫度引起的頻率漂移——在標準傳感器頭中通常被忽視——在激進沉積過程中成為關鍵故障點。Phoenix 直接使用高精度嵌入式K型熱電偶在源處測量晶體溫度,使沉積腔在高達500°C的溫度下運行時能夠實時校正速率、厚度和頻率。當與Colnatec的Eon-LT™或Eon-ID™控制器配合使用時,用戶可以完全監(jiān)控并校正至0.001 Hz。

04核心優(yōu)勢

1.獨家代理Colnatec,提供行業(yè)領先的高溫膜厚監(jiān)測技術。

2.Tempe傳感器具備自清潔烘烤循環(huán),顯著延長使用壽命,減少停機時間。

3.QCM產品覆蓋全溫區(qū)(最高溫度可至500°C),滿足多樣化工藝需求。

4.美國本土潔凈室生產,嚴格品控,確保高精度與長期穩(wěn)定性。

5.高性價比+快速供貨,提供便捷的一站式采購體驗。

05應用領域

主要應用于薄膜涂層生產流程,服務于需要適配不同溫度(40-500℃)、不同應力環(huán)境(低應力/高應力)的工藝場景,通過提供高精度監(jiān)控與控制設備,提升生產流程效率與穩(wěn)定性,減少因晶體故障導致的中斷。


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