大多數(shù)具有競(jìng)爭(zhēng)力的模塊化氣體輸送系統(tǒng)都受到端口、限流器、堵頭或頂蓋等兼容配件供應(yīng)的限制。Ichor 是一家能提供全系列兼容表面貼裝配件的制造商，這些配件既有表面貼裝配置，也有夾層配置，幾乎可以滿(mǎn)足任何材料的要求?？蛻?hù)須確保所選部件是適合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。

模塊化頂蓋

1.500" W 密封

3 端口

316L SST SEMI F20 VIM/VAR，更高純度

純度

材料

端口數(shù)

配置（可選）

密封件類(lèi)型

底座尺寸

• 材料代號(hào)

S = 316L SST semi F20

A = 316L

B = 316L SST semi F20 VIM/VAR

N = 鎳 200

M = 鎳 400

H = 鎳合金 C22

• 純度代號(hào)

S = 標(biāo)準(zhǔn)表面處理

H = 高純度

U = 更高純度

產(chǎn)地：美國(guó)

產(chǎn)品系列：MTC

額外配置：無(wú)

零件類(lèi)型：模塊化頂蓋

底座尺寸：1.500 英寸

密封類(lèi)型：W 型密封

端口數(shù)：3-端口

閥體材料：316L SST semi F20 VIM/VAR

純度等級(jí)：更高純

潤(rùn)濕表面處理：5 ra

清洗方式：超聲波清洗

拋光方式：電拋光

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案