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ONTO光刻系統(tǒng)JetStep G45

  • 品牌:ONTO
  • 型號(hào):JetStep G45

產(chǎn)品介紹

JetStep G45 系統(tǒng)可滿足移動(dòng)顯示行業(yè)的苛刻要求。該系統(tǒng)基于成熟的步進(jìn)技術(shù),將優(yōu)化的性能與良好的擁有成本相結(jié)合。JetStep G45 系統(tǒng)在 >200mm 的視場(chǎng)直徑范圍內(nèi)具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光學(xué)結(jié)合高速運(yùn)動(dòng)使系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)<0.5μm的覆蓋。JetStep G45 系統(tǒng)放大光學(xué)器件允許使用 6 英寸標(biāo)線片(掩模),與競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)相比,顯著降低了加工成本。此外,該系統(tǒng)占地面積小,可大限度地降低設(shè)施成本,其無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)可減少磨損,從而降低維護(hù)成本。綜合節(jié)省導(dǎo)致成本低廉的制造過(guò)程,降低了資本支出和擁有成本 (COO)。 

性能特點(diǎn)

  • 自動(dòng)放大控制增加了工藝窗口
  • 板載標(biāo)線管理系統(tǒng)提供大利用率
  • 用于現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)的機(jī)載計(jì)量包
  • 在每個(gè)曝光位置進(jìn)行動(dòng)態(tài)自動(dòng)對(duì)焦,以自動(dòng)調(diào)整面板拓?fù)渖系慕裹c(diǎn)
  • 提供系統(tǒng)性能和故障排除反饋的板載診斷

技術(shù)參數(shù)

  • 分辨率達(dá) 1.5µm 的高保真投影鏡頭和照明系統(tǒng)
  • 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 6 英寸光罩格式,用于經(jīng)濟(jì)的制造

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