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ENTEGRIS化學(xué)空氣過(guò)濾器VaporSorb CSP-32

產(chǎn)品介紹

Entegris 是微電子行業(yè)空氣分子污染 (AMC) 控制領(lǐng)域的佼佼者。 我們的 VaporSorb CSP-32 化學(xué)空氣過(guò)濾器為曝光工具光學(xué)元件和光刻膠提供保護(hù)。 CSP-32 過(guò)濾器包含碳和聚合化學(xué)介質(zhì)的獨(dú)特組合,可針對(duì)并去除分子酸(如 HCl、H2SO4 和 HNO3)、酸形成物質(zhì)(如 SO2)、分子堿(如 NH3、NMP 和 胺)和可冷凝有機(jī)化合物,定義為沸點(diǎn)大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。專門設(shè)計(jì)用于 Entegris 的定制過(guò)濾器外殼,例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 過(guò)濾器以串聯(lián)方式使用,以提供保護(hù),防止意外和升高的污染事件,包括意外的溶劑和顯影劑化學(xué)品泄漏。

性能特點(diǎn)

不對(duì)稱濾波器設(shè)計(jì)可防止 HDMSO 轉(zhuǎn)換為 TMS

去除酸、堿和可冷凝的有機(jī)物

折疊式過(guò)濾器設(shè)計(jì)采用剛性深框

低壓降使多個(gè)保護(hù)層的串聯(lián)過(guò)濾器布局成為可能

堆棧間采樣端口,便于監(jiān)控

技術(shù)參數(shù)


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