NT 6300 型比例控制閥專為高的純度應(yīng)用而開發(fā)。 該閥與高腐蝕性工藝兼容，專為 CMP 漿料應(yīng)用而設(shè)計(jì)，是解決當(dāng)今流量控制需求的理想選擇。 該閥門采用 PFA 和 PTFE 用于接液部件，惰性材料用于非接液部件，可耐受惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴射。 采用新的電機(jī)驅(qū)動(dòng)技術(shù)，內(nèi)部電子控制閥門步進(jìn)電機(jī)的各個(gè)方面。 閥門使用 Entegris 的算法設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)，以保持所需的設(shè)定值。

用于高的純度應(yīng)用和耐腐蝕的 PTFE 潤(rùn)濕表面

用于密封和污染保護(hù)的雙隔膜結(jié)構(gòu)

使用我們先進(jìn)的算法設(shè)計(jì)來驅(qū)動(dòng)閥門以保持所需的設(shè)定值

優(yōu)化閥座和隔膜設(shè)計(jì)，大限度地減少死體積和流體剪切；從全關(guān)到全開的可靠控制

占地面積小，可在有限空間內(nèi)輕松進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)安裝