快速關(guān)閉閥門(mén)的主要要求是在出現(xiàn)空氣涌入的情況下能夠快速可靠地做出反應(yīng)。由于泄漏導(dǎo)致 UHV 或 XHV 環(huán)境的損失，尤其是在加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大容量環(huán)境中，可能會(huì)導(dǎo)致污染方面的重大問(wèn)題，以及恢復(fù)所需真空水平所需的努力。

75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列可在壓力升高時(shí)通過(guò)快速關(guān)閉反應(yīng)保護(hù)真空度。該系列在 10 毫秒以下（取決于閥門(mén)直徑）以很快的速度關(guān)閉真空管路。關(guān)閉后，閥門(mén)密封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒都可以防止損壞程度，因此 75.2 設(shè)定了保護(hù)基準(zhǔn)。

75.2 設(shè)計(jì)為閘閥 (DN 40)，采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)。標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度高。閥體max. 200°C執(zhí)行器為 50°C。閥蓋采用金屬密封，閘門(mén)密封采用 FKM，焊接金屬波紋管密封饋通。

快速關(guān)閉閥由單獨(dú)的控制器控制。控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)、傳感器及其連接的就緒狀態(tài)來(lái)確保快速關(guān)閉時(shí)間。該控制器是模塊化的，可以針對(duì)不同的閥門(mén)/傳感器布置進(jìn)行配置?？焖訇P(guān)閉閥的狀態(tài)也由控制器提供遠(yuǎn)程輸出。反之亦然，閥門(mén)可以通過(guò)控制器上的接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列已經(jīng)在各種工藝條件下的加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中得到證明，已成為可靠的 UHV 和 XHV 系統(tǒng)保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。