LM 系列激光干涉測量探頭是長度測量設備。使用這些探頭，可以在 20 或 50 毫米的測量范圍內以納米精度進行觸覺測量。 由于其尺寸和 Ø 8h6 的夾持柄直徑，測量探頭與傳統(tǒng)測量系統(tǒng)兼容。集成的激光干涉儀將電機驅動的測量套筒的測量運動轉換為干涉信號。該光學測量信號通過光纜傳輸?shù)焦怆姽╇姾驮u估單元，并作為長度值輸出。穩(wěn)定的 He-Ne 激光器（其光通過光纖饋送到激光干涉儀）以及對環(huán)境對激光波長的影響的校正是高測量精度的基礎。操作和顯示通過單獨的顯示器或通過帶有軟件的 PC 進行。

通過激光干涉測量方法獲得高精度和準確度

高頻穩(wěn)定性氦氖激光器作為材料測量

在整個測量范圍內恒定的測量力

在整個測量范圍內具有良好的線性度

探頭的光纖耦合

抗電磁場