DH 系列熱浸式隔膜閥專為需要將閥門完全包含在高溫、高純度環(huán)境中的應(yīng)用而設(shè)計(jì)，例如原子層沉積 (ALD) 和前體輸送應(yīng)用。其完全包含的高純度級(jí) PFA 閥座提供了廣泛的化學(xué)兼容性以及抗膨脹和抗污染性。體內(nèi)完全掃過的流路減少了截留面積并提高了流動(dòng)能力。高達(dá) 0.60 的流量系數(shù)、各種 1/4 和 3/8 英寸的端接，以及氣動(dòng)和手動(dòng)驅(qū)動(dòng)模型——常閉執(zhí)行器能夠使閥門打開或關(guān)閉時(shí)間小于 5 毫秒——可用于 滿足廣泛的系統(tǒng)需求。該閥門設(shè)計(jì)用于在 220°C (428°F) 下實(shí)現(xiàn)良好性能。

使用連續(xù)監(jiān)測的去離子水超聲波清洗系統(tǒng)進(jìn)行高純度清洗

在 ISO 4 級(jí)工作區(qū)域執(zhí)行； 閥門采用雙層袋裝，真空密封在潔凈室袋中

潤濕表面粗糙度 (Ra)：電拋光并精加工至平均 5 µin。 (0.13 微米)