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產(chǎn)品介紹
Kit L系列直線光柵尺特別設(shè)計用于個性化的應(yīng)用。該系列產(chǎn)品不僅擁有極小的尺寸，更提供配置能力。該系列產(chǎn)品幾乎不限制設(shè)計師的設(shè)計自由。
性能特點
- 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場掃描）
- 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊（2場掃描）
- 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動速度達10 m/s（1 Vpp）
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
