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HEIMANN SENSOR真空傳感器HVS v ac04

產(chǎn)品介紹

HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng)新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實現(xiàn)小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標準測量范圍擴展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼(Pirani)型傳感器,基于薄微機械膜上的加熱電阻器結(jié)構(gòu),傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。

規(guī)格參數(shù)

參數(shù)

HVS Vac03g

HVS Vac03k

HVS Vac04

單位

外殼

TO8

TO39

TO39(單個)

TO8(雙)

 

芯片尺寸

5.2x5.2

4.0x4.0

1.2x1.2

mm2

傳感器電阻RP(典型值)

8.5

8.5

1

kOhm

片上參考電阻RK(典型值)

8.5

8.5

1

kOhm

電源電壓U0 (max.)

 

3.5

 

3.2

 

4(1..1000 mbar)

2(p <1 mbar)

volt

工作溫度

-20..120

°C

儲存溫度

-40..120

°C

 


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