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NUMERIK JENA直線光柵LIA20LIA20-N501 WA

產(chǎn)品介紹

由于插值電路,集成在一個(gè)15針D-sub連接器或掃描頭,分辨率降低到50納米,可以沒(méi)有任何額外的電子產(chǎn)品

允許的運(yùn)行速度為正弦信號(hào),輸出達(dá)10米/秒;均方輸出的0.1微米的分辨率波信號(hào)可為1.6米/秒的允許運(yùn)行速度。

短距離的位置誤差(插值誤差)通過(guò)引入振幅的電子補(bǔ)償和偏移粗信號(hào)偏差均顯著降低。這種補(bǔ)償功能,在所有速度范圍內(nèi)可避免錯(cuò)誤。

附加功能:

可重復(fù)性參考信號(hào)(多個(gè))精確到一個(gè)特定的增量,無(wú)論從哪個(gè)方向的基準(zhǔn)標(biāo)記(s)都是可以的

緊湊的尺寸,安裝公差大

由于2區(qū)域掃描,具有高抗污染性

電子信號(hào)調(diào)整的可能性(安裝后信號(hào)優(yōu)化)

可選附加的光開(kāi)關(guān)(多個(gè))傳感器集成在掃描頭(LIA 21 / LIA 22)

易于安裝刻度磁帶(SINGLEFLEX和DOUBLEFLEX),用于各種應(yīng)用和環(huán)境條件

應(yīng)用范圍:

半導(dǎo)體產(chǎn)??業(yè)生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備

線性單元,驅(qū)動(dòng)器和坐標(biāo)表

測(cè)量設(shè)備和測(cè)量顯微鏡

醫(yī)療技術(shù)定位和測(cè)量設(shè)備

復(fù)印精密設(shè)備

精密加工

機(jī)器人

NUMERIK JENA直線光柵LIA20-N501WA兼容光柵尺M(jìn)V53 40NP

規(guī)格參數(shù)

掃描頭尺寸:34*13.2*12.4mm

掃描頭重量:≤20g

掃描頻率:最大500kHz

電源電壓:5 V±10%

輸出接口

電壓輸出:1 VPP(15針D-Sub)

方波輸出:RS422,插值可達(dá)100次(15針D-Sub)

電纜:

允許彎曲半徑:

偶爾彎曲~8毫米

恒定彎曲~40毫米


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