美國Brooks Instruments（布魯克斯）熱質(zhì)量流量計(jì)GF100說明
通過結(jié)合布魯克斯的專利流量傳感器技術(shù)與高速ARM處理器，快速的動(dòng)膜片免費(fèi)閥門裝配時(shí)，GF100系列提供高達(dá)3倍的速度相對(duì)于其他的質(zhì)量流量的響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間控制器，可實(shí)現(xiàn)：
通過減少非生產(chǎn)性的流動(dòng)改進(jìn)晶片的產(chǎn)量解決步驟
超快需要1-2秒的蝕刻步驟的關(guān)鍵蝕刻工藝
減少分流天然氣消費(fèi)量和相關(guān)的減排成本
在原子層沉積時(shí)間敏感的氣體輸送步驟
對(duì)于需要一個(gè)緩慢的過程憋足氣的開啟或時(shí)間流量之間的關(guān)鍵過渡。用戶可編程斜坡函數(shù)被提供

MultiFlo?MultiFlo氣體和范圍可配置比傳統(tǒng)的單點(diǎn)氣體的一個(gè)重大進(jìn)步換算系數(shù)，布魯克斯MultiFlo技術(shù)，可提供高達(dá)一三次改進(jìn)工藝氣體精度。這是通過優(yōu)化，通過先進(jìn)的燃?xì)饨?shí)現(xiàn)實(shí)際氣體測(cè)試非線性氣體提供補(bǔ)償。MultiFlo還允許設(shè)備可以快速，輕松地配置為沒有其他氣體和/或流量范圍犧牲準(zhǔn)確性或rangability。選擇一個(gè)新的氣體
自動(dòng)創(chuàng)建一個(gè)新的標(biāo)準(zhǔn)曲線，建立動(dòng)態(tài)控制進(jìn)行了優(yōu)化PID設(shè)置，自動(dòng)補(bǔ)償氣體密度的影響，并確保平穩(wěn)，流量之間的超調(diào)，無過渡具有優(yōu)良靜態(tài)穩(wěn)定。
布魯克斯MultiFlo技術(shù)提供了無與倫比的靈活性;一個(gè)單個(gè)設(shè)備可以編程為數(shù)千種不同的氣體和流量范圍配置。重新編程簡單，快捷;新的燃?xì)夂头秶梢钥稍?0秒編程研究。布魯克斯提供了一個(gè)完整的氣體數(shù)據(jù)庫，以確保MultiFlo的真正價(jià)值實(shí)現(xiàn)：
大大降低了庫存成本
質(zhì)量流量控制器滿量程流量范圍可以再縮小通常通過3倍：1的對(duì)精度沒有影響，翻折或規(guī)格泄露，很佳工藝和庫存靈活性
最多支持典型要求的少40％配置蝕刻和CVD工藝經(jīng)文我們最接近的競爭對(duì)手
通過廣泛的氣庫最廣泛的工藝氣體覆蓋
質(zhì)量流量控制器可以被替換在只有幾分鐘
現(xiàn)成的備件可編程性能夠快速的過程復(fù)蘇
用于研究應(yīng)用最大的靈活性
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測(cè)試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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